Вакуумне покриття-це процес, який використовується для виготовлення високоякісних тонкофільмів. Він виробляє тонкі плівки, термічно випаровуючи або розпилюючи органічні або неорганічні матеріали на поверхню підкладки в вакуумних умовах. Ця стаття детально представить реалізацію вакуумного покриття.
Процес вакуумного покриття включає такі кроки:
1. Виберіть правильний підкладку та матеріал
Вибір правильного підкладки та матеріалу - це перший крок у вакуумному покритті. Підкладка може бути склом, пластиком, металевими або іншими наноматеріалами. Матеріали можуть бути органічними або неорганічними, такі як метали, напівпровідники, оксиди або нітриди.
2. Завантажте систему вакуумного покриття
Другий крок - завантаження підкладки та матеріали у систему вакуумного покриття. Система вакуумного покриття включає вакуумну камеру, металевий випарник, розпилення та систему управління. Вакуумна камера - це закритий простір, що використовується для підтримки вакуумного середовища, металеві випарники та спрати - це пристрої, що використовуються для випаровування або розпилення матеріалів на субстрати, а система управління використовується для моніторингу та регулювання вакуумного середовища та швидкості випаровування матеріалів або розпилення.
3. Вакуум
Після завантаження матеріалу та підкладки вакуумну камеру слід евакуювати. Вакуумування є дуже важливим кроком, оскільки підтримка низького тиску та середовища високої чистоти може гарантувати якість мембрани. Вакуумне середовище зазвичай нижче 10^-6 мбар, щоб виключити молекули газу та інші забруднювачі.
4. Матеріальне випаровування або розпилення
Коли вакуумне середовище досягає потрібного тиску, матеріал можна випарувати або розсипатися на підкладці. Існує два способи випаровування матеріалу: термічне випаровування та випаровування електронів. Розпилення також має два методи: розпилення магнетрона та дуга розпилення. Який би метод не застосовувався, необхідно контролювати швидкість випаровування матеріалу або розпилення та товщину плівки.
5. Зробіть багатошарову плівку
Після виготовлення одношарової мембрани кілька шарів можна скласти разом, щоб утворити композит. Можна використовувати різні матеріали та процеси осадження, такі як чергування осадження, спільне послання матеріалу з багатогранним матеріалом та осадження зонування.
6. Якість випробувальної мембрани
Заключний крок - перевірити якість мембрани. Випробування можуть включати товщину, фізичні властивості, оптичні властивості та електричні властивості. Визначте, чи відповідає мембранний матеріал вимогам відповідно до результатів випробувань.
Коротше кажучи, технологія вакуумного покриття-це метод досягнення високоякісних тонких плівок. Потрібно вибрати відповідний підкладку та матеріал, завантажувати вакуумну систему покриття, вакуумувати, випаровувати матеріал або розпилювати, робити багатошарову плівку та перевірити якість плівки. Технологія вакуумного покриття широко використовується в електроніці, оптиці, медичних та енергетичних полях.